Il sensore del flusso d’aria di massa con microbridge serie AWM 40000 Honeywell opera sulla teoria del trasferimento di calore. Il flusso d’aria è diretto attraverso la superficie degli elementi sensibili. La tensione di uscita varia in proporzione alla massa d’aria o di flusso attraverso le porte di ingresso e di uscita della confezione. L’alloggiamento appositamente progettato dirige e controlla con precisione il flusso d’aria attraverso l’elemento sensibile della microstruttura. Il design meccanico della confezione consente di montarlo facilmente su circuiti stampati.
Il sensore di flusso con microbridge ha un chip di silicio ed è costituito da una struttura a ponte a film sottile termicamente isolata contenente elementi riscaldanti e sensori di temperatura. La struttura a ponte fornisce una risposta sensibile e veloce al flusso di aria sul chip. Doppi elementi di rilevamento posizionati su entrambi i lati di un elemento di riscaldamento centrale indicano la direzione del flusso e la portata. Il sensore di flusso d’aria con microbridge utilizza resistori sensibili alla temperatura depositati all’interno di un sottile film di nitruro di silicio. Sono sospesi sotto forma di due ponti su una cavità incisa nel silicio.
Il chip si trova in un canale del flusso d’aria dimensionato con precisione per fornire una risposta di flusso ripetibile. L’isolamento termico altamente efficace per il riscaldatore e le resistenze di rilevamento viene creato incidendo lo spazio della cavità sotto i ponti del sensore di flusso. Le ridotte dimensioni e l’isolamento termico del sensore di flusso d’aria AWM 40000 sono responsabili della risposta estremamente rapida e dell’alta sensibilità ai flussi.
I due ponti Wheatstone controllano la misurazione del flusso d’aria: uno fornisce il controllo del riscaldatore ad anello chiuso, l’altro contiene i doppi elementi di rilevamento. Il circuito del riscaldatore riduce al minimo lo spostamento dovuto alle variazioni della temperatura ambiente fornendo un’uscita proporzionale al flusso di massa. Il circuito mantiene la temperatura del riscaldatore a un differenziale costante (160 ° C) al di sopra della temperatura ambiente che viene rilevata da una resistenza di calore integrata sul chip. La tensione raziometrica del dispositivo corrisponde alla tensione differenziale attraverso il circuito del ponte di Wheatstone.
